设备型号 | GY-QX01 | GY-QX02 | GY-QX03 |
整机规格 | 1090mm(W)×1005mm(D)×2160 mm(H) | 1100mm(W)×1100mm(D)×2220 mm(H) | 1500mm(W)×1100mm(D)×2300 mm(H) |
腔体规格 | 400mm(W)×450mm(D)×400mm(H) | 500mm(W)×550mm(D)×500mm(H) | 600mm(W)×650mm(D)×600mm(H) |
腔体容积 | 70L | 135L | 235L |
电极规格 | 内置平板式电极,374×340(W×D) | 内置平板式电极,474×440(W×D) | 内置平板式电极,574×540(W×D) |
载物规格 | 共6层,层间距50mm | 共8层,层间距45mm | 共10层,层间距45mm |
真空系统 | 抽速:18L/S | 抽速:25L/S | 抽速:70L/S |
电源系统 | 固态晶体管等离子发生源 | ||
控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 | ||
气路系统 | 2路进气、1路放空(可根据客户需求增加气路) | ||
工作电压 | AC380V | ||
备注 | 可针对不同物料形式、尺寸及产能等实际需求而定制专业设备 |