1)技术参数:
设备尺寸 |
530mm×538mm×674mm |
重量 |
75Kg |
电力需求 |
220v |
腔体尺寸 |
210mm×210mm×220mm铝合金 |
载物层数及面积 |
2层150×174×60(W×D×H) |
真空泵形式 |
机械泵 |
处理时间 |
0-15分钟 |
可使用气体 |
Ar、N2、O2、H2、CO2、空气等 |
控制系统 |
PLC+触摸屏 |
流量控制 |
一路质量流量计 |
2)产品特点:
高可靠性、高重复性。
宽泛的参数调节范围,可使用多种气体,实现最大范围的参数选择。
手自一体控制模式,方便操作。
PLC控制功率、质量流量控制等实现参数的精确控制和记录。
适合各种材质,例如高分子材料、陶瓷、金属等的表面处理。
设备体积小,适合空间紧张的实验室使用。
3)应用范围:
小型化等离子设备适合实验室使用,进行单次小批量作业。
LCD 面板电极表面有机污染物的清洗
BGA 电路板电极表面有机污染物的清洁
LED 的清洗与活化
PCB 表面清洗
橡塑材料的清洗与活化
玻璃与陶瓷表面的清洗与活化
生物材料表面接枝与活化
医疗器械消毒杀菌
人造生物器官的表面改性