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SY-DT01 低温等离子体处理仪

1)技术参数:

整机规格 600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
腔体规格 Φ160mm×210mm
腔体容积 4L
电极规格 外置环形电极
载物规格 单层,180mm×120mm(平放、悬挂均可)
电源系统 固态晶体管等离子发生源,40KHz
控制系统 手动控制
真空系统 抽速:3L/S
气路系统 2路工作气体、1路放空、1路接枝
工作电压 AC220V

2)产品特点:

 台式结构,真空泵外置。

 高强度石英石玻璃腔体,易清洁、耐腐蚀。 

 置物方式多样化,可平放、可悬挂。 

 外置环形电极,有效避免对腔体内的污染。

3)应用范围:

适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。