1)技术参数:
整机规格 | 600mm(W)×500mm(D)×400mm(H) |
腔体规格 | Φ160mm×210mm |
腔体容积 | 4L |
电极规格 | 外置环形电极 |
载物规格 | 单层,180mm×120mm(平放、悬挂均可) |
电源系统 | 固态晶体管等离子发生源,40KHz |
控制系统 | 手动控制 |
真空系统 | 抽速:3L/S |
气路系统 | 2路工作气体、1路放空、1路接枝 |
工作电压 | AC220V |
2)产品特点:
台式结构,真空泵外置。
高强度石英石玻璃腔体,易清洁、耐腐蚀。
置物方式多样化,可平放、可悬挂。
外置环形电极,有效避免对腔体内的污染。
3)应用范围:
适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。