1)技术参数:
整机规格 |
700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H) |
腔体规格 |
260mm(W)×260mm(D)×260mm(H) |
腔体容积 |
17L |
电极规格 |
内置环形电极 |
载物规格 |
共2层,单层180mm×210mm |
电源系统 |
固态晶体管等离子发生源,40KHz |
控制系统 |
触摸屏+PLC自动控制 |
真空系统 |
抽速:6L/S |
气路系统 |
2路工作气体、1路放空、1路接枝 |
工作电压 |
AC220V |
2)产品特点:
柜式结构,真空泵内置,有效节约占地面积。
万向底轮设计,方便设备移动。
高强度航空铝合金腔体,耐腐蚀。
置物层数为2层。
内置平板式电极,放电均匀。
真彩色全中文界面触摸屏,画面清晰,操作方便。
PLC自动控制,功能齐全,所有运行参数可自行设置并监控,主要功能包括:手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能(如:相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等)、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。
3)应用范围:
适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。